上海千实精密机电有限公司：真空表的测量原理分类有哪几种

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真空表是压力表的一种，工作原理可以分好几种。按真空计测量原理分类

（1）静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。

（2）弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变耐震压力表形来测量压力值的大小。

间接测量真空计压力为10-1Pa时，作用电接点压力表在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于这类的真空计有：

（1）压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上真空压力表再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。

（2）热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。

（3）热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关原理。

（4）电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的原理。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。

（5）放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。

（6）粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦原理。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。

（7）场致显微仪：以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。

（8）分压力真空计：利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。

利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成的真空测量仪表称为弹性元件真空表。在结构和外形上与工业用压力表类似，一般用于粗真空(102～105Pa)的测量。根据变形弹性元件分类，这类真空计通常有弹簧管式、膜盒式和膜片式，其结构如图所示。

弹性元件真空表的主要特点如下：

(1)测量结果是气体和蒸气的全压力，并与气体种类、成分及其性质无关；

(2)测量过程中，仪表的吸气和放气很小，同时仪表内部没有高温部件，不会使油蒸气分解；

(3)测量精度较高；

(4)反应速度较快；

(5)结构牢固，选用适当材料能测量腐蚀性气体；

(6)是真空计，0.5级以上的表可作为标准表

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